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一般稱電導(dǎo)率小于0.1μS/cm的純水為高純水,。在工藝條件下制備的高純水,，雜質(zhì)近乎為零。高純水電導(dǎo)率(或電阻率)是水質(zhì)要求關(guān)健指標,。

高純水制備的典型工藝流程如下：

源水→過濾→活性炭過濾器(或有機大孔樹脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽離子交換柱→陰離子交換柱→混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水,。

制定高純水標準主要依據(jù)：
      (1).微電子工藝對水質(zhì)的要求,；
      (2).制水工藝的發(fā)展水平,；
      (3).水中雜質(zhì)監(jiān)測技術(shù)的現(xiàn)狀等。

目前,，在1G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中,，對高純水的技術(shù)要求很嚴。

電極常數(shù)標定：用標準純水(已知電導(dǎo)率值)作為標定溶液,，標定電極常數(shù)。標定前用高純水把電極清洗干凈,，并用慮紙吸干水分,，再用標定純水適量沖洗。

十分感謝高純水領(lǐng)域的工程師們在測量應(yīng)用工藝方面的經(jīng)驗,、探索和創(chuàng)新,。