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SDG001,、SDG002型 高純水電導率儀

 

SDG001,、SDG002型 高純水電導率儀

 

【應用領(lǐng)域】

SDG型系列高純水電導率儀，用于測量高純水電導率,，其測量純水可以達到nS/cm級,，測量精確、準確,、穩(wěn)定,。

高純水主要應用于電子和微電子工業(yè)上，也用于食品,、造紙,、醫(yī)藥等行業(yè)。半導體器件由單電路到集成電路到超高集成電路,，其用水的水質(zhì)要求就越來越高,。在半導體切片和研磨過程中，須用高純水進行清洗,。

 

【品質(zhì)】

VIOLET®智創(chuàng),，更強、更好,、更精彩,！

◆ 最大允許誤差：

      SDG001：±0.1%FS

      SDG002：±0.2%FS

    保障高精度測量；

◆ 測量電導率,，可實時切換電阻率,；

◆ 支持功能拓展、擴展,；

◆ 自動溫度補償(可以選擇手動補償),。

 

【功能、特點】

◆ 六鍵操作,、光標引導,；

◆ 支持N點標定(N=1～8)，支持標定設為理論值,；

◆ VIOLET®智創(chuàng),，饜足一支電極全量程范圍應用,；

◆ 測量響應靈敏，平衡后“精,、準,、快”即時顯現(xiàn)；

◆ 數(shù)據(jù)采集,、存儲符合GLP規(guī)范,。庫存數(shù)據(jù)可查詢、轉(zhuǎn)移,、刪除(單組),、清零(全部)，數(shù)據(jù)庫可無限保存采集數(shù)據(jù)(SD卡轉(zhuǎn)移輸出),；

◆ 自動溫度補償(可以選擇手動補償),；

◆ 顯示屏背光可調(diào)；

◆ 操作菜單可選中文,、英文,。

 

【技術(shù)參數(shù)】

參數(shù)

技術(shù)指標

型號

SDG001

SDG002

儀器引用誤差級別

0.1級

0.2級

測量參數(shù)

電導率、電阻率,、溫度

測量范圍

電導率

0.00nS/cm～50.00μS/cm

電阻率

20.00KΩ·cm～1.000GΩ·cm

溫度

(-5.0～105.0)℃

分辨率

電導率

0.01nS/cm,、0.001μS/cm

電阻率

0.001(KΩ·cm、MΩ·cm)

溫度

0.1℃

最大允許

誤差

電導率

±0.1%FS

±0.2%FS

電阻率

±0.2%FS

±0.5%FS

溫度

±0.2℃

重復性

≤0.1%FS

≤0.2%FS

電源

電源適配器(輸入AC：220V,，50/60Hz,；輸出DC：12V，50mA)

尺寸,；重量

165×205×60(mm),；350(g)

 

【高純水電導率】

一般稱電導率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水,，雜質(zhì)近乎為零,。高純水電導率(或電阻率)是水質(zhì)要求關(guān)健指標。

高純水制備的典型工藝流程如下：源水→過濾→活性炭過濾器（或有機大孔樹脂吸附器）→反滲透器（或電滲析器）→陽離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水,。

制定高純水標準主要依據(jù)：(1).微電子工藝對水質(zhì)的要求,；(2).制水工藝的發(fā)展水平；(3).水中雜質(zhì)監(jiān)測技術(shù)的現(xiàn)狀等,。目前,，在1 G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中，對高純水的技術(shù)要求很嚴,。

電極常數(shù)標定：用標準純水(已知電導率值)作為標定溶液,，標定電極常數(shù)。標定前用高純水把電極清洗干凈,，并用慮紙吸干水分,，再用標定純水適量沖洗,。

十分感謝高純水領(lǐng)域的工程師們在測量應用工藝方面的經(jīng)驗、探索和創(chuàng)新,。

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